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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：自動橢圓偏振測厚儀 北京橢圓偏振測厚儀

  • 產(chǎn)品型號：TPY-2
  • 產(chǎn)品廠商：同德
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
自動橢圓偏振測厚儀 北京橢圓偏振測厚儀 TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長精度高。 自動橢圓偏振測厚儀 北京橢圓偏振測厚儀
詳情介紹：

自動橢圓偏振測厚儀 北京橢圓偏振測厚儀

TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長精度高。 
儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。 
規(guī)格與主要技術指標： 
測量范圍：       薄膜厚度范圍1nm-4000nm                  折射率范圍：1-10   
測量小示值： ≤1nm                                     入射角：20°- 90°精度≤0.05° 
度盤刻度：       每格1度                                 允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm 
偏振器步進角： 0.014°/步                                偏振器方位角范圍：0°- 180°     
測量膜厚和折射率重復性精度分別為：0.5nm和0.005 
自動橢圓偏振測厚儀 北京橢圓偏振測厚儀

儀器測量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時） 
光學中心高度：80mm   
成套性：主機、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件（需配計算機） 
主機重量：26kg    外形尺寸：680*390*310mm  

自動橢圓偏振測厚儀 北京橢圓偏振測厚儀

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